1 Probenmaterial Goldene Punkte aufgetragen mittels electron beam lithography und molecular beam epitaxy Gleichmäßige Abstände zwischen den Punkten (2 m) über die Fläche von 5 x 5 mm Beabsichtigt wurden rechtwinklige Punkte (0.6 x 0.4 m) Die Höhe der Punkte war 50 nm Substrat: Si mit SiO 2 Buffer (mit einer Dicke von 700 nm) Optische Mikroskopie und Strukturmodell 20 µm
2 Experimentelle Anordnung Röntgenquelle (Drehanode) Ge (111) Divergenzblende 80 m Probe Channel-cut Analysator 4 Si (111) Scatter slit Detektor Messbedingungen Eine Serie von -scans bei /2 = 1700 bei verschiedener in-plane Rotation der Probe Hochauflösende Röntgenbeugung Kinematische Beugungstheorie
3 Messdaten
4 Reciprocal space map (Q-Scan) i
5 Intensitätsmaxima qxqx qyqy Maximum der Intensität gibt es bei:
6 Intensitätsmaxima qxqx qyqy (2) (1) (3) (4) (5)
7 Darstellung im direkten Raum d [100] [010] [110] d d [120]
8 Diffraktierte Intensität (kinematische Theorie)
9 Relative Verschiebung der Streuzentren d d d 1+ [U00] [UV0]
10 Berechnung der relativen Verschiebung Tatsächlicher Netzebenenabstand Verhältnis zwischen und der kristallographischen Richtung Abstand eines Punktes vom Anfang des Kristallgitters Verschiebung einzelner Streuzentren
11 Vergleich der kinematischen Beugungstheorie mit experimentellen Daten -Scan bei /2 = 1500 Gute Übereinstimmung der gemessenen und gerechneten Intensität
12 Vergleich des gerechneten und des gemessenen Q-Scans
13 Lagen der Intensitätsmaxima Korrelation der Nachbarpunkte U.d 1.d Globale Maxima Lokale Maxima
14 Lagen der Intensitätsmaxima Hauptsatelliten der resonanten diffusen Streuung (globale Maxima) Lokale Satelliten Erster lokaler Satellit Zweiter lokaler Satellit
15 Anwendungen Untersuchung der Grundcharakteristiken von lateral periodischen Strukturen (Abstände zwischen den Streuzentren in verschiedenen makroskopischen Richtungen) Information über die Form der Streuzentren (aus der Umschlagfunktion des -Scans und aus der Form der Maxima der resonanten diffusen Streuung) Untersuchung der zufälligen und der systematischen Verschiebung der Streuzentren (stitching errors und Astigmatismus der Beschichtungstechnik) Information über die Kohärenz der Strahlung
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