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Infrarotspektroskopie Methoden und Geräte Ergebnisse Zusammenfassung Die Messung der Proben wurde mit einem EQUINOX IFS 55 Interferometer (Bruker Corporation.

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Präsentation zum Thema: "Infrarotspektroskopie Methoden und Geräte Ergebnisse Zusammenfassung Die Messung der Proben wurde mit einem EQUINOX IFS 55 Interferometer (Bruker Corporation."—  Präsentation transkript:

1 Infrarotspektroskopie Methoden und Geräte Ergebnisse Zusammenfassung Die Messung der Proben wurde mit einem EQUINOX IFS 55 Interferometer (Bruker Corporation Billerica MA, USA) durchgeführt. Als Strahlungsquelle wurde ein Globar, als Detektor ein Stickstoff gekühlter MCT Detektor verwendet. Die Messungen wurden im Bereich 1000 – 5000 cm -1 mit 0,5 mm Apertur durchgeführt. Vor und während den Messungen wurde der Probenraum mit getrockneter Luft gespült. Das Messprinzip der Schichtdickenmessung ist in Abbildung 1 dargestellt. Gemessene Proben Abbildung 3 Überlagerung der FT – IR Spektren einer 28 um dicken (Gefrierbeutel) und einer 13,4 um dicken (Frischhaltefolie) PE Folie. Die Messungen der Schichtdicke unterschiedlich dicker PE Folien sind in Abbildung 3 überlagert dargestellt. Die beiden Spektren sind ident und unterscheiden sich einzig durch die Anzahl der Maxima. Die Schichtdicke d kann bei bekanntem Brechungsindex n p mit Hilfe der Differenz zweier Maxima berechnet werden. Abbildung 2 Überlagerte FT - IR Spektren der gemessenen PE und PET Folien In Abbildung 2 sind die FT – IR Transmissions- Spektren von Polyethylen (PE) und Polyethylenterphthalat (PET) überlagert dargestellt. Die Spektren unterscheiden sich deutlich und sind daher für eine Identifizierung beziehungsweis eine Unterscheidung der einzelnen Polymere sehr gut geeignet. In Abbildung 3 sind die Messergebnisse aller Messungen zusammengefasst. Der ermittelte Brechungsindex von 1,626 für die PET Folie deckt sich sehr gut mit dem Literaturwert von 1,636 (Elman 1998). Auch die gemessenen Schichtdicken der beiden PE Folien liegen im Rahmen der Herstellerangaben. Der Brechungsindex der ZnMnTe Schicht von 2,74 liegt auch nur knapp über dem Literaturwert von 2,68 (Mandelung 1996). Tabelle 1 Gemessene Proben ProbenbezeichnungMaterialBestimmung Melinex 1PETBrechzahl Melinex 2PETSchichtdicke FrischhaltefoliePEMaterial und Schichtdicke GefrierbeutelPEMaterial und Schichtdicke Epitaxie 1ZnMnTe (3%Mn)Brechzahl Epitaxie 2PbTeSchichtdicke ProbenbezeichnungMaterialnfnf d f [µm] Melinex 1PET1,62675,0 Melinex 2PET1,62627,7 FrischhaltefoliePE1,513,4 GefrierbeutelPE1,528,0 Epitaxie 1ZnMnTe (3%Mn)2,744,2 Epitaxie 2PbTe68,8 Die Infrarotstrahlung IR liegt in einem Wellenlängenbereich zwischen 0,78 und 1000 µm. Dabei wird die IR Strahlung nochmals in drei Kategorien unterteilt. Das nahe Infrarot (NIR) von 0,78 – 3 µm, das mittlere Infrarot (MIR) von 3 – 50 µm und das ferne Infrarot (FIR) von 50 – 1000 µm. Dabei gibt es für die unterschiedlichen Wellenlängenbereiche zahlreche Anwendungsmöglichkeiten. So ist die Technologie des berührungslosen Messens und Heizens mittels IR Strahlung in zahlreichen Bereichen, sowohl privat, als auch wirtschaftlich, medizinisch, wissenschaftlich oder militärisch nicht mehr wegzudenken. Zu den wirtschaftlichen Anwendungen gehören unter anderem die berührungslose Schichtdickemessung von Folien und Beschichtungen bei der Produktion und die schnelle und zuverlässige Identifikation und Trennung unterschiedlicher Kunststoffsorten zum Beispiel beim PET Recycling. Im Zuge dieser Arbeit, wurden Material, Dicke und Brechungsindices sowohl von Polyethylen (PE) und Polyethylenterephthalat (PET) Folien, als auch von Bleitellurid PbTe und Zink- Mangan-Tellurid ZnMnTe Epitaxieschichten mittels Fourier Transform Infrarotspektroskope FT – IR bestimmt. Der reflektierte Strahl ABCD hat demnach eine um die doppelte Schichtdicke d größere Wellenlänge als der ohne Reflexion durchlaufende Strahl AB. Diese beiden IR-Strahlen überlagern sich zu einer periodisch zu- und abnehmenden Durchlässigkeit des Gesamtstrahls. Die Anzahl der dadurch entstehenden Maxima und Minima im Spektrum ist abhängig von der Schichtdicke der Folie. Abbildung 4 FT - IR Transmissionsspektrum einer 8,8 μm PbTe Epitaxieschicht. Abbildung 1: Strahlengang des IR Strahls durch die Probe und das daraus resultierende Spektrum. Die Pfeile markieren die Stellen im Spektrum an denen die Maxima zur Schichtdickenbestimmung abgelesen werden können. Abbildung 4 zeigt das FT - IR Spektrum von PbTe. Im Vergleich zu den Kunststofffolien, zeigen die Halbleiterproben keine charakteristischen Banden. Stattsdessen beginnt das Material ab einer bestimmten Wellenlänge, die Strahlung völlig zu absorbieren. Die Energie, bei der eine totale Absorption eintritt entspricht der Bandlücke im Halbleiter. Tabelle 2: Zusammenfassung aller Messergebnisse Die Ergebnisse der durchgeführten Messungen entsprechen sehr gut den aus der Literatur erwarteten Werten. Auch die Identifikation der einzelnen Kunststoffe durch den Vergleich mit Referenzspektren war problemlos und sehr gut reproduzierbar. Quellen Elman J.F., Greener J., Herzinger C.M., and Johs B., Characterization of Biaxially-Stretched Plastic Films by Generalized Ellipsometry, Thin Solid Films, 313/314, (1998): Mandelung O., Semiconductors – Basic Data, 2nd revised Edition, Springer (1996) Amon J., Jöchlinger H., Konrad S., Mlynek F., Walcher C. Die Übung wurde betreut durch Univ.- Prof. Dr.phil. H. Krenn Institut für Physik, KFU - Graz Einleitung


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