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Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse Forum analytica München, 18.04.012 Johannes Kaindl Sales Manager Materialmikroskopie.

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Präsentation zum Thema: "Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse Forum analytica München, 18.04.012 Johannes Kaindl Sales Manager Materialmikroskopie."—  Präsentation transkript:

1 Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse Forum analytica München, 18.04.012 Johannes Kaindl Sales Manager Materialmikroskopie

2 Agenda 18.04.20122Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD 1 2Umsetzung Technischer Hintergrund

3 Agenda 18.04.20123Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD 1 2Umsetzung Technischer Hintergrund

4 Korrelative Mikroskopie Hintergrund Wunsch Stufenloses Eintauchen Wirklichkeit Auflösungsgrenze in der Lichtmikroskopie Höhere Auflösung: Rasterelektronenmikroskope Andere Technologie, andere Gerätetechnik Folge Systemwechsel nötig Orientierung auf der Probe geht verloren Zeitaufwändiges Suchen der interessierenden Bereiche 18.04.20124Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD nm µm

5 Korrelative Mikroskopie Hintergrund Lichtmikroskop Helligkeitskontrast Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche bzw. Objekte nur über Helligkeit und Farbe Rasterelektronenmikroskop Materialkontrast Chemie Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren 18.04.20125Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

6 Problem: Relokalisierung Schnelle Lokalisierung unter dem Lichtmikroskop Direkter Blick auf die Probe Livebild Schwierig: Wiederfinden einer Stelle im Rasterelektronenmikroskop Vergleichsweise langsamer Bildaufbau Höhere Auflösung Kein direkter Blick auf die Probe Unterschiedliche Darstellung (optischer versuch Materialkontrast) 18.04.20126Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD LM EM (X,Y) 1,2…n

7 Agenda 18.04.20127Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD 1 2Umsetzung Technischer Hintergrund

8 Die Lösung: Shuttle & Find 18.04.20128Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD Hardware Spezifischer Probenhalter Markierungen zur Kalibrierung des Koordinatensystems Adapter für Lichtmikroskop und REM Auch individuelle Adapter möglich Software Imaging-Software AxioVision Modul Shuttle & Find Speichern und wieder anfahren beliebig vieler Probenpositionen Gleiche Software für Lichtmikroskop und REM Überlagern der Einzelbilder zu einem Gesamtbild Überblendfunktion Probenhalter Adapter LiMi Adapter REM

9 Korrelative Mikroskopie Neue Einblicke Lichtmikroskop Helligkeitskontrast Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche bzw. Objekte nur über Helligkeit und Farbe 18.04.20129Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren Rasterelektronenmikroskop Materialkontrast Unterscheidung durch Auswertung unterschiedlicher Signale bei Beschuss mit Elektronenstrahl

10 15.09.201110Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD


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