Kathode Steuerzylinder Anode Kondensor (-linse) XY-Ablenksystem Objektiv (-linse) Bildschirm Detektor Probentisch mit Probe
Kathode Anode Steuerzylinder
Bildschirm Vakuum
Probe Haarnadelkathode Wehnelt-Zylinder Anode Kondensorlinse Objektivlinse Objektivaperturblende Zwischenlinse Projektivlinse Leuchtschirm bzw. Photoplatte
Probe Elektronenstrahl unelastisch gestreute Elektronen Objektivaperturblende Elektronenstrahl unelastisch gestreute Elektronen nicht gestreute gestreute Elektronen
Probentisch mit Probe Elektronenstrahl EDS-Detektor Röntgenstrahlung aus Probe
λ = h m ∙ v d = 0,61 ∙ n ∙ sin α λ = 0,61 ∙ NA