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© 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Großflächige Beschichtung von Dünnschichtsolarzellen.

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1 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Großflächige Beschichtung von Dünnschichtsolarzellen bzw. Halbfabrikaten Dünnschichtphotovoltaik für Großfläche (3 x 6 m²) noch nicht existent Anpassung Prozess- und Anlagentechnik Dr. Martin Bähr Euroglas GmbH Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

2 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« DünnschichtsolarzellenKostengünstige Dünnschicht- solarzellenabscheidung bei moderaten Temperaturen Reaktives Magnetronsputtern aktiver Schichten Effiziente Herstellmethoden entwickeln Screening diverser Abscheideprozesse Dr. Klaus Ellmer Hahn-Meitner-Institut Prof. Dr. Volker Kirchhoff Prof. Dr. Günter Bräuer Fraunhofer FEP, IST Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

3 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Billig-TCOsErsatz von teurem ITO in Displays und Solarzellen Material- und Prozessentwicklung Prof. Dr. Volker Kirchhoff Prof. Dr. Günter Bräuer Fraunhofer FEP, IST Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

4 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Transparente ElektrodenReduzierung der spezifischen Widerstände bei hoher Transparenz, stabiler Abscheideprozess Neue Plasmaanregung während der Abscheidung von TCOs Dr. Klaus Ellmer Hahn-Meitner-Institut AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

5 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Ion Beam und Plasma [Anm. der AGL] Assisted Deposition (IBAD) Ion Beam und Plasma [Anm. der AGL] Assisted Deposition (IBAD) - Dipl. Phys. Friedrich W. Nickol Semcoglas GmbH Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

6 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Preisgünstige Inline-Messung an dünnen Schichten bzw. Schichtsystemen Bestimmung der Schichteigenschaften bzw. Teilschichtsysteme direkt im Beschichtungsprozess an mehreren Positionen z. B. Transmissions-/ Reflexions-messung an ausgewählten Wellenlängen Dr. Martin Bähr Euroglas GmbH Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

7 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Prozessautomation/ - regelung Hohe Produktivität bedingt wachsende Anzahl von Sputter-stationen; gleichzeitig werden Schichtsysteme komplexer; dadurch Bedienung extrem erschwert Bessere Regelmechanismen, neue Eingabekonzepte Dr. Martin Bähr Euroglas GmbH Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

8 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Neu- und Weiterentwicklung, Diagnostik für Plasmaprozesse Korrelation zwischen Plasmaeigenschaften (PVD, PECVD, PTWA, Plasmaspritzen) u. Schichteigenschaften Entwicklung, Adaption von Diagnostik für thermische Plasmen und Niedertemperaturplasmen Prof. Dr.-Ing. Kirsten Bobzin IOT, RWTH Aachen Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

9 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Selbstreinigende OberflächenRealisierung von selbstreinigenden Oberflächen Fortführung begonnener Material- und Prozessentwicklungen Prof. Dr. Volker Kirchhoff Prof. Dr. Günter Bräuer Fraunhofer FEP, IST Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

10 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Optische Entspiegelungs- schichten Sehr homogene (1%) Einfach- und Mehrfachschichten Reaktives Sputtern mit O 2, N 2 Dr. Bernhard Grünler Singulus Technologies AG Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

11 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Entspiegelung von Polymeren durch Plasmaätzen Preiswerte Entspiegelung mit Zusatzfunktion (Antifog oder hydrophob) Strukturerzeugung im Plasma Prof. Dr. Norbert Kaiser Fraunhofer IOF Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

12 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasmaprozesse für Dünnschicht-Photovoltaik« Antireflex für Solar Verbesserung der Lichteinkopplung in PV-Module Vermeidung von HF-Ätzen (Nasschemie), Einsatz d. Pyrosiltechnik; Verbesserung der Absorption und gleichzeitig Korrosionsschutz Dr. Bernd Grünler Innovent e. V. Leitung:Dr. Strümpfel (VON ARDENNE) Dr. Blessing (BlueTec) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

13 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für 3D-Strukturen« Plasmaverfahren für 3D-Strukturen Preiswerte Verfahren zur Innen- und Außenbehandlung (Beschichten, Aktivieren) von Bauteilen Atmosphärendruckplasma- verfahren, dynamische Entladungen Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Leitung:Dr. Cord (Singulus Technologies) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION

14 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für 3D-Strukturen« Plasmaverfahren für 3D-Strukturen Preiswerte Verfahren zur Innen- und Außenbehandlung (Beschichten, Aktivieren) von Bauteilen Atmosphärendruckplasma- verfahren, dynamische Entladungen Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Hochleistungsschichten auf komplex strukturierten Oberflächen, Prozess- führung, Vermeidung v. Überhitzung Sensible Prozesssteuerung (PTWA u. Plasmaspritzen), integrative Regelung und Steuerung Prof. Dr.-Ing. Kirsten Bobzin IOT, RWTH Aachen Leistungsfähige Beschichtungen auf strukturierten Oberflächen (z. B. Innenkonturen) Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Cord (Singulus Technologies)

15 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für 3D-Strukturen« Plasmaverfahren für 3D-Strukturen Preiswerte Verfahren zur Innen- und Außenbehandlung (Beschichten, Aktivieren) von Bauteilen Atmosphärendruckplasma- verfahren, dynamische Entladungen Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Preiswerte Herstellung harter Schichten auf mittelgroßen Substraten Co-Deposition mit GFS- Quellen Prof. Dr. Günter Bräuer Fraunhofer IST Transparenter Kratzschutz Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Cord (Singulus Technologies)

16 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für 3D-Strukturen« Plasmaverfahren für 3D-Strukturen Preiswerte Verfahren zur Innen- und Außenbehandlung (Beschichten, Aktivieren) von Bauteilen Atmosphärendruckplasma- verfahren, dynamische Entladungen Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Verringerung von Wasseraufnahme durch das Polycarbonat bei DVD Sputtern, CVD Dr. Bernhard Grünler Singulus Technologies AG Barriere-/ Funktionsschichten Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Cord (Singulus Technologies)

17 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für 3D-Strukturen« Plasmaverfahren für 3D-Strukturen Preiswerte Verfahren zur Innen- und Außenbehandlung (Beschichten, Aktivieren) von Bauteilen Atmosphärendruckplasma- verfahren, dynamische Entladungen Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Barrierebeschichtungen, Diffusions-sperrschichten u. ä. auf Basis von Niederdruck, insbesondere jedoch Atmosphärendruck- Beschichtungen Freistrahlplasmen Dr. Bernd Grünler Innovent e. V. Funktionelle Innenbeschichtungen in Hohlkörpern Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Cord (Singulus Technologies)

18 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für 3D-Strukturen« Entwicklung neuer Plasmaprozesse, hybride Beschichtungsprozesse Neue, leistungsfähige Werkstoffkonzepte für Beschichtungen, neue Anwendungsgebiete Prozessentwicklung, PVD und Jetflow, innovative Plasmadiagnostik, Plasmamodellierung und Simulation Prof. Dr.-Ing. Kirsten Bobzin IOT, RWTH Aachen Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Cord (Singulus Technologies)

19 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« AtmosphärendruckplasmenIn vielen medizinischen und biologischen Bereichen ist eine Plasmaanwendung denkbar und vielversprechend - Prof. Dr. Wolfgang Viöl HAWK, Fakultät N Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

20 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« UltrahochbarriereBarrierenentwicklung für die langzeitstabile Verkapselung feuteempfindlicher Materialien (z. B. OLEDs) Untersuchung diverser Plasmaprozesse Prof. Dr. Volker Kirchhoff Prof. Dr. Günter Bräuer Fraunhofer FEP Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

21 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« BarriereschichtenAnhebung der Sperrwirkungen, Einkapselung von Bauelementen Multischichtsysteme Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

22 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik Plasmabehandlung von Mikrokomponenten Innenfunktionalisierung, preiswert, bei Atmosphärendruck Spezielle Plasmasysteme und Verfahren Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

23 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« Biofunktionelle Beschichtungen Biomimetische Funktionsschichten für Zellkulturkäfer, Implantate etc., Medikamentendepots Spezielle Plasma-CVD- Schichtsysteme, Kopplung mit chemischen Verfahren Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

24 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« PlasmasterilisationSchnelle Sterilisation oder Keimreduktion bei Atmosphärendruck - Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

25 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« Funktionalisierung/ Plasmabehandlung von porösen Materialien, Pulvern, Schüttgut Effiziente und kostengünstige Behandlung Spezielle Entladungssysteme und Verfahren Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

26 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« Quantitative Analytik an funktionellen Schichten aus dem Plasma Analytische Ergebnisse selten vergleichbar, da oft semi- analytische Methoden verwendet werden (z. B. ESCA) Vergleich regionaler Ansätze Dr. Christian Oehr Fraunhofer IGB Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

27 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik Erschließung neuer Schichtsys., basierend auf Beflammungs-CVD- Verfahren Bisher nur begrenzte Zahl von Schichtsystemen mit C-CVD und r-C-CVD möglich (SiO 2, TiO 2, Wo X ) Verfahrensmodifizierungen, Brennerentwicklung (z. B. Ziel Perovskite für Katalysatoren, Nichtoxide) Dr. Bernd Grünler Innovent e. V. AG »Plasma-Verfahren für die Medizin- und Biotechnik« Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Oehr (Fraunhofer IGB)

28 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Abgasnachbehandlung« Abgasreinigung von Holzöfen Es werden immer mehr Holzwerkstoffe verbrannt, die eine erhebliche Staub- und Gasemission verursachen Staubfilter, Abgasreinigung mit Plasma Prof. Dr. Wolfgang Viöl HAWK, Fakultät N Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)

29 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Abgasnachbehandlung« AbgasreinigungNO x, VOC oder Rußabreicherung in Abgas von Verbrennungsmotoren Atmosphärendruck-Plasma Dr. Jochen Feichtinger Robert Bosch GmbH Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)

30 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Verschleißschutz auf Bauteilen« Verschleißschutz- Beschichtung Schutz tribologisch hoch belasteter, mechanischer Bauteile vor Verschleiß DLC-Beschichtung Dr. Jochen Feichtinger Robert Bosch GmbH Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Brand (Fraunhofer IST) Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)

31 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Verschleißschutz auf Bauteilen« Kosten KohlenstoffschichtenReduzierung der Beschichtungskosten von Kohlenstoffschichten - Dr. Thomas Krug Hauzer Techno Coating BV Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Brand (Fraunhofer IST) Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)

32 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Verschleißschutz auf Bauteilen« Kosten KohlenstoffschichtenReduzierung der Beschichtungskosten von Kohlenstoffschichten - Dr. Thomas Krug Hauzer Techno Coating BV Tribologische Schichten Verbesserte Eigenschaften, z. B. für DLC-Schichten Hochleistungs-Puls- Magnetron-Sputtern Prof. Dr. Günter Bräuer Fraunhofer IST Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Brand (Fraunhofer IST) Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)

33 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Verschleißschutz auf Bauteilen« Kosten KohlenstoffschichtenReduzierung der Beschichtungskosten von Kohlenstoffschichten - Dr. Thomas Krug Hauzer Techno Coating BV Beschichtung weicher Materialien Beschichtung von Kunststoffen und Leichtmetallen Duplex, Verfahrenskombination Dr.-Ing. Jochen Brand Fraunhofer IST Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Brand (Fraunhofer IST) Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)

34 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik HochtemperaturschichtenSchichten mit guten Reib- eigenschaften und Anti- Haftwirkung bei hohen Temperaturen - Dr.-Ing. Jochen Brand Fraunhofer IST AG »Verschleißschutz auf Bauteilen« Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Brand (Fraunhofer IST) Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)

35 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik Plasmafeinreinigung und Oberflächenaktivierung Komplexe Bauteile und Geometrien erfordern hinreichende Spaltgängigkeit der Plasmen Spezielle Plasmasysteme Prof. Dr. K.-D. Weltmann Dr. Andreas Ohl INP Greifswald AG »Verschleißschutz auf Bauteilen« Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Brand (Fraunhofer IST) Dr. Feichtinger (Robert Bosch GmbH)

36 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Harte und superharte Beschichtungen« Entwicklung von Werkzeugbeschichtungen für die wirtschaftliche und quali- tätsgerechte Zerspanung von GGV und ADI Hoher Verschleiß, unbekannte Verschleißmechanismen, kein(e) zufriedenstellende(r) Schneidstoff/ Beschichtung Untersuchung der Verschleiß- mechanismen, Entwicklung angepasster Mehrschicht- systeme Dr.-Ing. Jan Gäbler Fraunhofer IST Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Gäbler (Fraunhofer IST)

37 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Harte und superharte Beschichtungen« Neue FarbenDekorative, verschleißfeste Schichten mit neuen Farben, die nicht auf Interferenz beruhen - Dr. Thomas Krug Hauzer Techno Coating BV Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Dr. Gäbler (Fraunhofer IST)

38 © 2006 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik AG »Ausbildung« Ausbildung von FH-Studenten im Bereich Plasmatechnik Es gibt zu wenig Fachhochschulen, die Vorlesungen und Praktika im Bereich Plasmatechnik anbieten Öffentlichkeitsarbeit Prof. Dr. Wolfgang Viöl HAWK, Fakultät N Abstract: Interessierte Partner: NAME ORGANISATION Leitung:Frau Brand (Fraunhofer IST)


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