Die Präsentation wird geladen. Bitte warten

Die Präsentation wird geladen. Bitte warten

Makromolekulare Chemie KUNSTSTOFFE Kunststoffe= PolymereMakromoleküle= Plastik= Monomere Perle (Baustein) Polymer Perlenkette n > 1000.

Ähnliche Präsentationen


Präsentation zum Thema: "Makromolekulare Chemie KUNSTSTOFFE Kunststoffe= PolymereMakromoleküle= Plastik= Monomere Perle (Baustein) Polymer Perlenkette n > 1000."—  Präsentation transkript:

1 Makromolekulare Chemie KUNSTSTOFFE Kunststoffe= PolymereMakromoleküle= Plastik= Monomere Perle (Baustein) Polymer Perlenkette n > 1000

2 Makromolekulare Chemie DIE VERSUCHE 2. Photoresists Wie stelle ich winzig kleine Transistoren her? 1. Solarzellen Wie funktioniert eine organische Solarzelle?

3 P. Strohriegl Makromolekulare Chemie I Universität Bayreuth C#Nat-Fortbildung, Bayreuth, 04. Dezember 2002 PHOTOLITHOGRAPHIE - MIT LICHT SCHREIBEN -

4 Makromolekulare Chemie PHOTOLITOGRAPHIE Kunststoffplatte Cu-Schicht Photoresist Lithographie: mit dem Stein schreiben Photolithographie: mit Licht schreiben Photoresist: Material, das beim Belichten seine Löslichkeit ändert

5 Makromolekulare Chemie PHOTOLITOGRAPHIE Kunststoffplatte Cu-Schicht Photoresist

6 Natronlauge Aceton HCl/H 2 O 2 Makromolekulare Chemie löslich unlöslich PHOTOLITOGRAPHIE

7 Makromolekulare Chemie POSITIV-PHOTORESIST - DIE CHEMIE - Der Photoresist besteht aus 2 Komponenten Komponente 1: Polymer (Novolac)

8 Makromolekulare Chemie POSITIV-PHOTORESIST - DIE CHEMIE Komponente 2: Photoaktives Material Molekül I UV-Licht Molekül II unpolarpolar in Natronlauge unlöslichin Natronlauge löslich

9 VOM EINKRISTALL ZUR SCHEIBE (WAFER) Makromolekulare Chemie Arbeitsschritte Sägen Kanten verrunden Schleifen/Läppen Ätzen Polieren Reinigen Wacker Siltronic

10 VOM SILICIUM - WAFER ZUM MIKROPROZESSOR Makromolekulare Chemie Hoechst High Chem Magazin Ein Silicium Wafer enthält mehrere hundert Mikroprozessoren! Jeder Prozessor enthält eine unvorstellbar große Zahl an Bauelementen!

11 MIKROPROZESSOREN Makromolekulare Chemie... Der Mikroprozessor ist das Herzstück eines PC... extrem hohe Rechenleistung durch Miniaturisierung... Pentium 4: 42 Millionen Transistoren

12 RASTERELEKTRONENMIKROSKOPIE Makromolekulare Chemie 1m (Meter) 1mm = m (Millimeter) 1 m = m (Mikrometer) 1nm = m Nanometer 1000 X kleiner 1000 X kleiner 1000 X kleiner Clarissa Drummer, Universität Bayreuth

13 MINIATURISIERUNG Makromolekulare Chemie 10 m

14 Makromolekulare Chemie VOM SILICIUM-WAFER ZUM CHIP vom Silicium-Wafer zum Chip... Miniaturisierung Transistoren... Photolithographie mit Licht schreiben... Arbeiten in winzigen Dimensionen ( m)... jede Strukturierung beruht auf einem Photolitographieschritt... ca. 250 Prozesschritte zum Chip

15 Makromolekulare Chemie ERSATZFOLIEN

16 MINIATURISIERUNG Makromolekulare Chemie Quelle: Intel

17 FELDEFFEKT-TRANSISTOR – DIE ERSTEN 3 SCHRITTE Makromolekulare Chemie Hoechst High-Chem Magazin

18 Makromolekulare Chemie FELDEFFEKT-TRANSISTOR – SCHRITTE 4-6 Hoechst High-Chem Magazin

19 Makromolekulare Chemie FELDEFFEKT-TRANSISTOR – SCHRITTE 7-9 Hoechst High-Chem Magazin

20 Makromolekulare Chemie FELDEFFEKTTRANSISTOR Hoechst High-Chem Magazin... ca. 250 Prozesschritte auf dem Weg vom Wafer zum Chip

21 Makromolekulare Chemie Base Technology CMOS (Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)

22 Makromolekulare Chemie DANKE SCHÖN... für die Idee zum Photoresistversuch: Reiner Giesa... für die Ausarbeitung: Klaus Kreger, Rudolf Bauersachs... für die Rasterelektronenmikroskopie: Clarissa Drummer... für die Silicium – Exponate: Wacker-Siltronic... für Informationen und Bilder zur Chipfertigung: C. Hohle, Infineon

23 Makromolekulare Chemie 3 m Der Chip enthält viele Strukturen, die kleiner als 1 m sind kleinste Struktur in aktuellen Mikrochips 0.13 m (130 nm) WIE KLEIN SIND DIE TRANSISTOREN IN MIKROCHIPS? Infineon Technologies


Herunterladen ppt "Makromolekulare Chemie KUNSTSTOFFE Kunststoffe= PolymereMakromoleküle= Plastik= Monomere Perle (Baustein) Polymer Perlenkette n > 1000."

Ähnliche Präsentationen


Google-Anzeigen