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Präsentation zum Thema: "Presents:."—  Präsentation transkript:

1 presents:

2 Funktionsweise von Vakuumpumpen
Jörn Schüttler & Dennis Klink in: Vakuumtechnik II Funktionsweise von Vakuumpumpen

3 Inhalt Druckbereiche von Vakuumpumpen
Saugvermögen verschiedener Pumpen Gastransferpumpen Adsorptionspumpen Pumpengalerie Quellen Danksagung

4 Druckbereiche von Vakuumpumpen
Unter Vakuum versteht man den Zustand in einem Raum, bei dem das Gas unter einem geringeren Druck steht, als dem Normaldruck (1013,25 mbar) in der freien Atmosphäre. Je nach Größe dieses Druckes werden die Vakua im Allgemeinen nach folgendem Schema klassifiziert Drehschieberpumpe Öldiffusionspumpe Turbomolekularpumpe Zeolithfalle Sublimationspumpe Ionenverdampferpumpe Kryopumpe Bezeichnung Druckbereich (mbar) Bild: Austin powers Grobvakuum 1000 – 1 Feinvakuum Hochvakuum Ultrahochvakuum < 10-7

5 Saugvermögen verschiedener Pumpen

6 Gastransferpumpen Wasserstrahlpumpe Drehschieberpumpe Membranpumpe
Wälzkolbenpumpe Öldiffusionspumpe Turbomolekularpumpe

7 Wasserstrahlpumpe Druckbereich: Saugleistung: 0,25 - 5 L/min
atm bis ca. 20 mbar Abhängig von Temperatur des Wassers Dampfdruck des Wassers : 23,4 mbar bei 20°C; 8,7 mbar bei 5°C Saugleistung: 0, L/min

8 Drehschieberpumpe Druckbereich: 103-10-3 u.U 10-4 mbar
Abhängig vom Dampfdruck des Öls und des Gegendrucks Kondensierbarer Stoff im Gas? Saugleistung: ca. 25 L/min Verschmutzung des Pumpenöls

9 Membranpumpe Druckbereich: ca. 2 mbar Saugleistung: ca. 30 L/min

10 Wälzkolbenpumpe Vorvakuum nötig Druckbereich: 10-1 - 10-3 mbar
Hohe Saugleistung: ca. 420 m³ / min

11 Öldiffusionspumpe Vorvakuum erforderlich
Druckbereich: ab u.U mbar Saugleistung: bis 150 m³/min Oft Öl austauschen

12 Turbomolekularpumpe Vorvakuum erforderlich
Druckbereich: mbar Saugleistung: 18 m³/min Variiert ja nach Gasart (Molekülmasse)

13 Adsorptionspumpen Zeolithfalle
Titansublimations- und Ionenverdampferpumpe Kryopumpe

14 Zeolithfalle Druckbereich: 103 bis 10-3 mbar
„ Saugvermögen: “ 1g Zeolith hat eine Oberfläche von ca. 103 m² Adsorbiert alle Gase Schlechte Wirkung bei Edelgasen und H2 N2 - Kühlung verstärkt die Adsorptionswirkung Regeneration bei 300°C an Luft

15 Titansublimations- und Ionenverdampferpumpe
Vorvakuum erforderlich Druckbereich: 10-4 bis mbar (ggf. ab 10-2) Saugleistung: 24 m³ / min Gasmoleküle (O2, CO, CO2, H2, N2, Acetylen) werden am Titan (oder Ba, Ca, Hf, Nb, Sr, Ta, V, Zr…) adsorbiert Ionisation beschleunigt Gastransport zur Anode

16 Kryopumpe Vorvakuum erforderlich Druckbereich: 10-4 - 10-11 mbar
„Kryopumpe“ erst < 80K Betrieb mit flüssigem Helium, Stickstoff oder Wasserstoff

17 Pumpengalerie

18 Wasserstrahlpumpen

19 Wasserstrahlpumpen

20 Drehschieberpumpen

21 Drehschieberpumpen

22 Membranpumpe

23 Wälzkolbenpumpe

24 Diffusionspumpen Öldiffusionspumpeneinsatz

25 Diffusionspumpen Quecksilberdiffusionspumpe mit Einsatz

26 Turbomolekularpumpe

27 Zeolithfalle

28 Titansublimationspumpe

29 Ionengetterpumpe

30 Kryopumpe

31 Quellen www-stud.uni-essen.de /~sp0045/ V1Grund.pdf www.hcrs.at/
Binnewies/Jäckel/Willner; Allgem.&Anorg.Chemie Küster-Thiel; Rechentafeln f.d. chem. Analytik Wikipedia sowie andere diverse Webseiten

32 Danksagung Wir bedanken uns bei Zorro, Klaus, Philipp, und Euch, für Eure Aufmerksamkeit Dennis bedankt sich bei Jörn Jörn bedankt sich bei Dennis Hase bedankt sich bei Igel und Tim bei Al

33 ENDE