SEM (scanning electron microscope) Rasterelektronenmikroskop Sergej Fust
Gliederung Einführung Aufbau und Funktionsweise Signalverarbeitung Zusammenfassung Ausblick
Einführung Anwendung Auflösungsvermögen Geschichte
Anwendungen Oberflächenstrukturanalyse massiver Proben Materialforschung Biologisch-medizinische Fragestellungen Schadensanalyse Kriminalistik Qualitätskontrolle
Auflösungsvermögen Lichtmikroskop: λ ≈ 0,4 - 0,7 μm d ≈ 0,3 μm Lichtmikroskop: λ ≈ 0,4 - 0,7 μm d ≈ 0,3 μm praktisch etwa 1 μm für große Auflösung: große Linsendurchmesser, kleiner Abstand zum Objekt SEM: De Broglie Wellenlänge λ=h/p λ ≈ 0,03 nm für 1 kV d < 1 nm, trotz kleinem Aperturdurchmesser und großem Arbeitsabstand (ca. 10 mm)
Auflösungsvermögen
Geschichte 1925 Magnetfeld als Elektronenlinse (Hans Busch)
Elektromagnetische Linse
Wirkungsweise einer el.-magn. Linse
Geschichte 1925 Magnetfeld als Elektronenlinse (Hans Busch) 1931 Erstes Elektronenmikroskop (Ernst Ruska) 1937 Rasterelektronenmikroskop (Manfred von Ardenne) 1965 Erstes kommerzielles Rasterelektronenmikroskop
Das erste Rasterelektronenmikroskop von M. von Ardenne
Aufbau und Funktionsweise Strahlerzeugung Probenpräparation
Aufbau Modernes Rasterelektronen- mikroskop
Aufbau Elektronenquelle Anode Magnetische Linsen (Kondensoren) Ablenkspulen Objektivlinse Probe Detektoren
Strahlerzeugung Kathode: Wolfram oder LaB6 Glüh-oder Feldemission Fokkusierung durch Wehnelt-Zylinder Anodenspannung: 1-30 keV Cross-over = kleinster Strahldurchmesser (wichtig für zu erreichende Auflösung) Schem. Aufbau einer Elektronenkanone
Probenpräparation Hochvakuumbeständig Wasserfrei Leitend (Beschichtung aus Gold oder Kohlenstoff) Mit Gold bedampfte Spinne für eine SEM Aufnahme
Signalverarbeitung Signalarten Signalverarbeitung Detektoren
Signalarten Sekundärelektronen Rückgestreute Elektronen Augerelektronen Röntgenstrahlung Absorbierte Elektronen
Signalarten
Signalverarbeitung Meistgenutzte Informationsquelle SE Meistgenutzte Informationsquelle Energie: einige wenige eV Aus den obersten Nanometern der Oberfläche Topographie Kontrast durch Flächenneigung und Kantenkontrast
Signalverarbeitung
Kanteneffekt anhand einer mit einem SEM aufgenommene Spinne
Signalverarbeitung Energie: einige keV SE BSE Meistgenutzte Informationsquelle Energie: einige wenige eV Aus den obersten Nanometern der Oberfläche Topographie Kontrast durch Flächenneigung und Kantenkontrast Energie: einige keV Intensität von Ordnungszahl des Materials abhängig schwere Elemente = helle Bereiche Rückschlüsse auf chem. Natur bzw. Verteilung der versch. Materialien
Signalverarbeitung BSE BSE SE SE Vergl. zw. Rückstreu- und Sekundärelektronenaufnahmen
Signalverarbeitung Aufnahmen von zwei versch. Elementen mit Sekundär- und Rückgestreuten Elektronen (oben: Silizium und Titan, unten: Eisen und Kohlenstoff) SE BSE
Detektoren E-T mit ausgeschaltetem Faraday-Käfig Everhart-Thornley Se BSE E-T mit ausgeschaltetem Faraday-Käfig Donut-förmig über der Probe angeordnet Szintillator oder Halbleiter Everhart-Thornley Rauscharm, große Bandbreite Bestandteile: Szintillator, Faraday-Käfig, Photomultiplier
Zusammenfassung
Zusammenfassung Vorteile: Größere Auflösung als ein Lichtmikroskop Keine Zerstörung der Probe wie beim TEM Sehr gute Schärfentiefe Keine Spiegelnde Oberflächen wie beim Lichtmikroskop
Bild eines Schwimmschneekristalls mit Licht- bzw Bild eines Schwimmschneekristalls mit Licht- bzw. Rasterelektronenmikroskopie
Zusammenfassung Vorteile: Größere Auflösung als ein Lichtmikroskop Keine Zerstörung der Probe wie beim TEM Sehr gute Schärfentiefe Keine Spiegelnde Oberflächen wie beim Lichtmikroskop Nachteile: Kleinere Auflösung als ein TEM Umständliche Vorbehandlung Farbinformation geht verloren Schädigung der Objekte durch den Elektronenstrahl Keine lebende Objekte
Weiterentwicklung ESEM
Environmental scanning electron microscope (ESEM) Geringeres Vakuum, höherer Druck (130-1300 Pa ) Angepasste Detektoren Gas (Wasserdampf, Stickstoff, Luft) statt Hochvakuum Sekundärelektronen auf dem Weg zum Detektor beschleunigt (Verstärkungskaskade)
ESEM Nachteile: Vorteile: Kleine Vergrößerungen kaum realisierbar Flüssigkeiten sind undurchsichtig Rastergeschwindigkeit länger Vorteile: Nicht vakuumstabile oder ausgasende Proben Luftfeuchtigkeit einstellbar Bedampfung entfällt
Das erste ESEM Aufnahme eines Käfers mit einem ESEM
Quellen: http://de.wikipedia.org/wiki/Rasterelektronenmikroskop McMullan, D. (2006). Scanning electron microscopy 1928-1965 http://www.uni-ulm.de/elektronenmikroskopie/REMHerbst2001.html Rasterelektronenmikroskopie; L. Reimer, G. Pfefferkorn; Springer Verlag (1977) The scanning electron microscope; Oatley, Charles W