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Diplomkolloquium Stefan Polzin Charge Pumping Messplatz.

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Präsentation zum Thema: "Diplomkolloquium Stefan Polzin Charge Pumping Messplatz."—  Präsentation transkript:

1 Diplomkolloquium Stefan Polzin Charge Pumping Messplatz

2 Seite 2 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

3 Seite 3 © Copyright by Stefan Polzin Einführung Warum Charge Pumping?

4 Seite 4 © Copyright by Stefan Polzin Einführung Warum Charge Pumping?

5 Seite 5 © Copyright by Stefan Polzin Einführung Warum Charge Pumping?

6 Seite 6 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

7 Seite 7 © Copyright by Stefan Polzin 1. Aufgabenstellung Aufbau eines rechnergestützten Messplatzes zur Charakterisierung von MOSFETs durch Charge Pumping d.h. Einarbeitung in die Theorie Auswahl der Messgeräte Software schreiben Messungen

8 Seite 8 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

9 Seite 9 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Aufbau Signale Rechteck (Trapez) Sägezahn (Dreieck) Sinus

10 Seite 10 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche

11 Seite 11 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top

12 Seite 12 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top

13 Seite 13 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top

14 Seite 14 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top

15 Seite 15 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top V t ; I CP =0

16 Seite 16 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Auftretende Ströme (1)Minoritätsladungsträger zurück nach Source / Drain (2)Minoritätsladungsträger in das Substrat (3)Interface Trapped Charges, nahe E min, werden emittiert und nehmen an (1) und (2) teil (4)Eingefangende Minoritätsladungsträger mit Majoritätsladungsträgern an Grenzschicht rekombinieren

17 Seite 17 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Auftretende Ströme (1)Minoritätsladungsträger zurück nach Source / Drain (2)Minoritätsladungsträger in das Substrat (3)Interface Trapped Charges, nahe E min, werden emittiert und nehmen an (1) und (2) teil (4)Eingefangende Minoritätsladungsträger mit Majoritätsladungsträgern an Grenzschicht rekombinieren

18 Seite 18 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Charge Pumping Kurve

19 Seite 19 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg.

20 Seite 20 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg.

21 Seite 21 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg. Rechteck

22 Seite 22 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg. Rechteck Sägezahn

23 Seite 23 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg. Rechteck Sägezahn Sinus

24 Seite 24 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Vorteil Standardequipment Kurze Messzeiten Direktes Messverfahren Anwendung Bestimmung Interface Trap Density D it Qualitäts- und Prozesskontrolle

25 Seite 25 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

26 Seite 26 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

27 Seite 27 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

28 Seite 28 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

29 Seite 29 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

30 Seite 30 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

31 Seite 31 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur Source Drain Gate

32 Seite 32 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Aufbau Variante 2

33 Seite 33 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Software Teilprogramme und Hauptprogramm Parametereingabe über - Panel - Code

34 Seite 34 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz PAP Hauptprogramm

35 Seite 35 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Programm Code Aufruf

36 Seite 36 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz PAP Unterprogramm

37 Seite 37 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Vorteile dieser Programmstruktur Nur einmal Aufsetzen Keine unterschiedlichen Kontaktbedingungen Mehrere Messungen mit unterschiedlichen Parametern

38 Seite 38 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Messdateien Überblick

39 Seite 39 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Messdatei Frequenz

40 Seite 40 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Messdatei All

41 Seite 41 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz bestätigung

42 Seite 42 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Beispielmessungen

43 Seite 43 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Beispielmessungen

44 Seite 44 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Beispielmessungen

45 Seite 45 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Probleme Selector Nadelkarte

46 Seite 46 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Grundlagen Charge Pumping Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

47 Seite 47 © Copyright by Stefan Polzin 5. Zusammenfassung & Ausblick andere Nadelkarte Software Weitere Tests


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