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Diplomkolloquium Stefan Polzin Charge Pumping Messplatz.

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Präsentation zum Thema: "Diplomkolloquium Stefan Polzin Charge Pumping Messplatz."—  Präsentation transkript:

1 Diplomkolloquium Stefan Polzin Charge Pumping Messplatz

2 16.08.2002 Seite 2 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

3 16.08.2002 Seite 3 © Copyright by Stefan Polzin Einführung Warum Charge Pumping?

4 16.08.2002 Seite 4 © Copyright by Stefan Polzin Einführung Warum Charge Pumping?

5 16.08.2002 Seite 5 © Copyright by Stefan Polzin Einführung Warum Charge Pumping?

6 16.08.2002 Seite 6 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

7 16.08.2002 Seite 7 © Copyright by Stefan Polzin 1. Aufgabenstellung Aufbau eines rechnergestützten Messplatzes zur Charakterisierung von MOSFETs durch Charge Pumping d.h. Einarbeitung in die Theorie Auswahl der Messgeräte Software schreiben Messungen

8 16.08.2002 Seite 8 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

9 16.08.2002 Seite 9 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Aufbau Signale Rechteck (Trapez) Sägezahn (Dreieck) Sinus

10 16.08.2002 Seite 10 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche

11 16.08.2002 Seite 11 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top { "@context": "http://schema.org", "@type": "ImageObject", "contentUrl": "http://images.slideplayer.org/1/644319/slides/slide_11.jpg", "name": "16.08.2002 Seite 11 © Copyright by Stefan Polzin 3.", "description": "Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top

12 16.08.2002 Seite 12 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top { "@context": "http://schema.org", "@type": "ImageObject", "contentUrl": "http://images.slideplayer.org/1/644319/slides/slide_12.jpg", "name": "16.08.2002 Seite 12 © Copyright by Stefan Polzin 3.", "description": "Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top

13 16.08.2002 Seite 13 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top { "@context": "http://schema.org", "@type": "ImageObject", "contentUrl": "http://images.slideplayer.org/1/644319/slides/slide_13.jpg", "name": "16.08.2002 Seite 13 © Copyright by Stefan Polzin 3.", "description": "Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top

14 16.08.2002 Seite 14 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top { "@context": "http://schema.org", "@type": "ImageObject", "contentUrl": "http://images.slideplayer.org/1/644319/slides/slide_14.jpg", "name": "16.08.2002 Seite 14 © Copyright by Stefan Polzin 3.", "description": "Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top

15 16.08.2002 Seite 15 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Arbeitsbereiche (1)V base, V top V t ; I CP =0

16 16.08.2002 Seite 16 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Auftretende Ströme (1)Minoritätsladungsträger zurück nach Source / Drain (2)Minoritätsladungsträger in das Substrat (3)Interface Trapped Charges, nahe E min, werden emittiert und nehmen an (1) und (2) teil (4)Eingefangende Minoritätsladungsträger mit Majoritätsladungsträgern an Grenzschicht rekombinieren

17 16.08.2002 Seite 17 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Auftretende Ströme (1)Minoritätsladungsträger zurück nach Source / Drain (2)Minoritätsladungsträger in das Substrat (3)Interface Trapped Charges, nahe E min, werden emittiert und nehmen an (1) und (2) teil (4)Eingefangende Minoritätsladungsträger mit Majoritätsladungsträgern an Grenzschicht rekombinieren

18 16.08.2002 Seite 18 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Charge Pumping Kurve

19 16.08.2002 Seite 19 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg.

20 16.08.2002 Seite 20 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg.

21 16.08.2002 Seite 21 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg. Rechteck

22 16.08.2002 Seite 22 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg. Rechteck Sägezahn

23 16.08.2002 Seite 23 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Formeln Allg. Rechteck Sägezahn Sinus

24 16.08.2002 Seite 24 © Copyright by Stefan Polzin 3. Konzept des Charge Pumping Vorteil Standardequipment Kurze Messzeiten Direktes Messverfahren Anwendung Bestimmung Interface Trap Density D it Qualitäts- und Prozesskontrolle

25 16.08.2002 Seite 25 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

26 16.08.2002 Seite 26 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

27 16.08.2002 Seite 27 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

28 16.08.2002 Seite 28 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

29 16.08.2002 Seite 29 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

30 16.08.2002 Seite 30 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur

31 16.08.2002 Seite 31 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Struktur Source Drain Gate

32 16.08.2002 Seite 32 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Aufbau Variante 2

33 16.08.2002 Seite 33 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Software Teilprogramme und Hauptprogramm Parametereingabe über - Panel - Code

34 16.08.2002 Seite 34 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz PAP Hauptprogramm

35 16.08.2002 Seite 35 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Programm Code Aufruf

36 16.08.2002 Seite 36 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz PAP Unterprogramm

37 16.08.2002 Seite 37 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Vorteile dieser Programmstruktur Nur einmal Aufsetzen Keine unterschiedlichen Kontaktbedingungen Mehrere Messungen mit unterschiedlichen Parametern

38 16.08.2002 Seite 38 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Messdateien Überblick

39 16.08.2002 Seite 39 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Messdatei Frequenz

40 16.08.2002 Seite 40 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Messdatei All

41 16.08.2002 Seite 41 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Emailbestätigung

42 16.08.2002 Seite 42 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Beispielmessungen

43 16.08.2002 Seite 43 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Beispielmessungen

44 16.08.2002 Seite 44 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Beispielmessungen

45 16.08.2002 Seite 45 © Copyright by Stefan Polzin 4. Messplatz Probleme Selector Nadelkarte

46 16.08.2002 Seite 46 © Copyright by Stefan Polzin Überblick Aufgabenstellung Grundlagen Charge Pumping Konzept Charge Pumping Messplatz Zusammenfassung & Ausblick

47 16.08.2002 Seite 47 © Copyright by Stefan Polzin 5. Zusammenfassung & Ausblick andere Nadelkarte Software Weitere Tests


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