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Www.graphikon.de F-GW/A-D-12.07 Graphikon GmbH Industrielle Bildverarbeitung seit 1990 Intelligente Inspektionssysteme für: Qualitätssicherung, Analyse,

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Präsentation zum Thema: "Www.graphikon.de F-GW/A-D-12.07 Graphikon GmbH Industrielle Bildverarbeitung seit 1990 Intelligente Inspektionssysteme für: Qualitätssicherung, Analyse,"—  Präsentation transkript:

1 F-GW/A-D Graphikon GmbH Industrielle Bildverarbeitung seit 1990 Intelligente Inspektionssysteme für: Qualitätssicherung, Analyse, Überwachung, Steuerung, und Visualisierung von Prozessen Unser Unternehmen Mitglied im VDMA

2 F-GW/A-D Graphikon GmbH Langjährige Kompetenz in der Bildverarbeitung 1990 durch Prof. Dr. Jürgen Saedler Ein Team von kompetenten Spezialisten aus Bereichen wie Anlagentechnik, Informatik, Mathematik, Mechatronik, Optik, Konstruktion, Sensorik und Steuerungstechnik Gründung: Mitarbeiter:

3 F-GW/A-D Graphikon GmbH Produkte Kundenspezifische Inline- Inspektionssysteme mit höchster Erkennungssicherheit Stand-Alone Sortiermaschinen mit höchstem Durchsatz Offline- und Labormesssysteme mit höchster Präzision

4 F-GW/A-D Graphikon GmbH Schlüsselfertige Inspektionssysteme G/WAFER für die Halbleiterindustrie G/GLAS für Glasindustrie G/SOLAR für die Photovoltaikindustrie G/INSPECT das Baukastensystem für Inspektionslösungen in der Elektronik-, Luftfahrt- und Automobilindustrie und Life Science

5 F-GW/A-D Graphikon GmbH Branchen und Kunden (Auszug) Afag, Arcelor, Bosch, Brose, Corning, DaimlerChrysler, Eko Stahl, Elringklinger, Ina Schaeffler, Johnson Matthey, Lüdi, Porsche, Rasmussen, Salzgitter, Stüken, Takata-Petri, Trelleborg Sealing Solutions, Umicore, Volkswagen, Zehdenick Innovative Metall- und Kunststofftechnik, ZF Friedrichshafen Automobil und Zulieferer: Bystronic, Docter Optics, EG & G Heimann, Gat, General Electric, Gustav Brückner, Job, Osram, Philips, Rohmer + Stimpfig, Saint-Gobain Sekurit, Samsung, Schott Epcos, Epigap, Infineon, OSA Opto, Siemens, Silicon Sensor Glas: Elektronik und Halbleiter: DeutscheCell, ENfoton, Kyocera, Malibu Solar, Solarwatt, Solon, Würth Solar Photovoltaik:

6 F-GW/A-D Mikroskop mit Lichteinkopplung, Fein- positioniersystem und hochauflösender Kamera zur Kontrolle von Strukturen auf Wafern G/WAFER Waferinspektion Oberflächeninspektion von Wafern mit einem Durchmesser bis zu 8 Erkennung von Schmutzpartikeln ab 2 µm und Leitbahnrisse, Leitbahnschlüsse, Maskenfehler und Maskenversatz ab 0,7 µm Schnelle Erreichbarkeit der Serienprüfung durch effiziente Anlernalgorithmen Hoher Durchsatz durch effiziente Analyse und innovative Bildaufnahme bei kontinuierlicher Waferbewegung

7 F-GW/A-D Systemaufbau: G/WAFER Waferinspektion Stativ: Schweres Messmikroskop MS 4 4-Achsen Verfahrsystem Telezentrische Optik Telezentrische Auflichtbeleuchtung mit geblitzter Horchleistungs- LED Hochauflösende 3- CCD Farbkamera

8 F-GW/A-D Optimale Einsatzmöglichkeiten G/WAFER Waferinspektion Optoelektronischen Bauelementen Sensoren Mikrosystemen (MEMS) ASICs Leistungshalbleitern Substraten Und weiteren Strukturen bei der Inspektion von:

9 F-GW/A-D Einsatzmöglichkeiten nach unterschiedlichen Prozessschritten: G/WAFER Waferinspektion Inspektion von Substraten Prozessnahe Überprüfung Endkontrolle im Verbund Endkontrolle gesägt

10 F-GW/A-D Das Anlernverfahren: G/WAFER Waferinspektion Halbautomatisches Anlernen eines typischen Gut-Wafers Berechnung des idealen Golden Die aus einer großen Stichprobe typischer Dies Dadurch Unterdrückung von zufälligen Strukturen

11 F-GW/A-D Das Anlernverfahren: G/WAFER Waferinspektion Berechnung von Vertrauensintervallen für jedes Pixel, prozesstypische Schwankungen im Aussehen werden automatisch mit angelernt Halbautomatisches Labeln von Strukturbereichen Festlegung von Auswerteregeln für jeden Bereich

12 F-GW/A-D Die Inspektion: G/WAFER Waferinspektion Manuelles oder automatisches Auflegen des Wafers Vollautomatisches Alignment Vollautomatischer Scanvorgang, Bildaufnahme on the fly Vollautomatischer Ausgleich von Farbvariationen über den Wafer Vollautomatische Schärfenachführung Vollautomatisches Pixel- Matching für jedes Bildfeld

13 F-GW/A-D Die Inspektion: G/WAFER Waferinspektion Detektion von Abweichungen aus dem angelernten Vertrauensintervall Bewertung verdächtiger Strukturen entsprechend dem hinterlegten Regelsätzen Automatische Defektklassifizierung (ADC) anhand von Farbe, Ort, Größe Form und Nachbarschaft von Objekten Markieren von fehlerhaften Dies in der Wafermap Optional: Visuelle Nachkontrolle aller gefundenen Defekte / Offline Review

14 F-GW/A-D Erkannt und klassifiziert werden: G/WAFER Waferinspektion Kratzer, Partikel Löcher / Metallisierungsfehler Maskenfehler / Maskenversatz Bond Pad- Fehler / unzulässige Probe Marks Sägekantenfehler / Chip Outs, Versatz Ink Dot Erkennung Kundenspezifische Defekttypen

15 F-GW/A-D Die Optionen: G/WAFER Waferinspektion Alternativ: Verschiedene Vergrößerungen für Auflösungen von 5 µm bis 500 nm pro Bildpunkt Optional: Automatischer Wechsel von Vergrößerung und Beleuchtung Optional: Erweiterungspaket für gesägte Wafer auf Folie Optional: Inken der defekten Dies Optional: Vollautomatisches Waferhandling

16 F-GW/A-D Der Durchsatz: G/WAFER Waferinspektion In Abhängigkeit von der gewählten Vergrößerung können folgende Inspektionszeiten erreicht werden: Defekte ab: 2 µm 1,3 µm 4 Wafer:ca. 4 minca. 8 min 6 Wafer:ca. 8 minca. 15 min 8 Wafer:ca. 16 minca. 30 min

17 F-GW/A-D Flexibilität: G/WAFER Waferinspektion Integration der Auswertetechnologie in neue Hardwareumgebungen (z.B. PA200 Prober) Implementierung kundenspezifischer Prüfaufgaben wie Maßhaltigkeits- prüfungen, Sägekantenbewertung und Ähnliches

18 F-GW/A-D Graphikon & Quasys Ein starkes Team für die Lösung Ihrer Inspektionsaufgaben Graphikon GmbH


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