Präsentation herunterladen
1
Analyse mit Ionenstrahlen
- Grundlagen der Analytik - Elementanalyse mit Ionenstrahlen - PIXE (Particle Induced X-Ray Emission) - Strahlenschädigung - SIMS (Secondary Ion Mass Spectrometry) - Elementanalyse mittels elastischer Streuung: - RBS (Rutherford BackScattering) - ERD (Elastic Recoil Detection) - NRA (Nuklear Reaction Analysis) - Proton-Proton-Streuung: Wasserstoffnachweis - Tiefenauflösung - Strukturanalyse: Channeling Günther Dollinger
2
ERD (Elastic Recoil Detection)
Leichte Projektile (He, N, Ne, Ar): Viel RBS-gestreute im Vergleich zu ERD-Ereignissen: Folie vor Detektor: Reichweite der leichten Teilchen größer Alternativ: Schwere Ionen: sin f> M2 /M1 : keine gestreuten Projektile Günther Dollinger
3
Korrektur für elektronische Abschirmung der Coulombpotentiale
2) Rutherford Streuung => Konzentrationen quantitativ => gleiche Sensitivität für alle leichten Elemente 3) Z,M Analyse ohne Mehrdeutigkeiten 4) Energieanalyse => Tiefenprofil Korrektur für elektronische Abschirmung der Coulombpotentiale Günther Dollinger
4
DE-E Spektrum: ZrO2/Al2O3 auf Si (from IMEC)
I, 170 MeV Zr: (6.1 ± 0.2) × 1015 at/cm2 Þ 2.2 nm Zr02 Al: (3.5 ± 0.2) × 1015 at/cm2 Þ 0.83 nm Al203 O: (19.8 ± 0.4) × 1015 at/cm2 H: (5.4 ± 0.1) × 1015 at/cm2 C: (2.5 ± 0.3) × 1015 at/cm2 systematischer Fehler: bis < 1 % Günther Dollinger
5
ERD an 310 nm AlxGa1-xN Probe auf Al2O3
Günther Dollinger
6
Berechnung von Tiefenprofilen
Energiespektren für jedes Element separat ohne Mehrdeutigkeiten: Direkte Berechnung von Tiefenprofilen möglich: KONZERD (TU München) Günther Dollinger
7
Gitterabstand versus Al-Konzentration
Elementkonzentration mit 1 % relativer Ganauigkeit Günther Dollinger
8
TOF-E Massenanalyse Z-Analyse nur für E2/M2 > 0.5 MeV/nukl,
Bei langsameren Ionen: TOF-E Analyse: also Bestimmung von v und E => M2 Oder Ablenkung in magnetischem Feld also p/q und E: bis auf Ladungszustände Massenbestimmung eindeutig Günther Dollinger
9
ERD mit „normaler“ Tiefenauflösung
- DE-E Methode alle leichten bis mittelschweren Elemente notwendig sind hohe Ioneneenergien (z.B. 170 MeV I) => Elementen-Trennung Sensitivität »1 ppm, at/cm² quantitativ, (relative Fehler 5% - 10%, 1% - 2% möglich) begrenzt durch Strahlenschaden Tiefenauflösung > nm TOF-E bei niedrigeren Energien - Wie bekommt man Tiefenauflösung < 1 nm? - niedrigere Ionenenergie (z.B. 40 MeV Au): - Q3D Magnet-Spektrograph Günther Dollinger
10
Q3D Magnet-Spektrograph
DW = 14.3 msr Strahlenschädigung! - Multipol Element: Korrektur des kinematischen Gangs - Gesamt-Energieauflösung DE/E = 5 10-4 => Tiefenauflösung 1 nm Au 40 MeV Günther Dollinger
11
Z2 Bestimmung, redundant Eges M2 Bestimmung Ort1 => Tiefenprofil
4 mal DE Z2 Bestimmung, redundant Eges M2 Bestimmung Ort => Tiefenprofil Winkel Ort2 Günther Dollinger
12
Kinematische Korrektur
Günther Dollinger
13
Tiefen-Mikroskopie 3 nm Vergrößerung 108 counts Günther Dollinger
14
Unterschiedliche Elemente
Günther Dollinger
15
Tiefenprofile Tiefenauflösung: an der Oberfläche < 0.3 nm fwhm
Günther Dollinger
16
Grenzen der Tiefenauflösung
Energieauflösung bestimmt Tiefenauflösung Am Q3D: Günther Dollinger
17
Beiträge der Kleinwinkelstreuung
Kinematische Effekte: Weglängeneffekt: Günther Dollinger
18
Beiträge zur Tiefenauflösung Nach E. Szilagy, Depth code
Günther Dollinger
19
Monolagen Auflösung Charge state dependent stopping force
Depth dependent stopping force Charge yields Günther Dollinger
20
Bayes´sche Datenanalyse
Aus verrauschten Daten maximale Information ziehen unter Vorwissen: 1) Maximum Likelihood: bestmögliche, formfreie Datenanpassung 2) Apparatefunktion: Bedingte Wahrscheinlichkeiten 3) Entropiemethoden und Adaptive Kernel Methoden: Suchen nach der bestmöglichen Datenanpassung mit der geringsten Informationstiefe (Oszillationen vermeiden). 40 MeV Au, Steuwinkel 15°, Einfallswinkel 7° 4) Mit Monte Carlo Methoden wird Fehlerintervall für die Verteilung bestimmt Günther Dollinger
21
Deposition of tetragonal amorphous carbon ta-C
C-ions ca. 100 eV Subplantation Thermal Spike Relaxation sp3-bonds formed Günther Dollinger
22
Implantation niederenergetischer Ionen
Ionen-Energie 10 eV - 1 keV Klassifizierung der WW: - < sec: Kollisionsphase - < sec: Thermalisierung - > sec: Relaxationen Zerstäuben (Sputtern) Rückstreuung Implantation Schichtwachstum (z.B. ta-C) Günther Dollinger
23
Sp3-Content Versus Ion Energy
H. Hofsäß et al Günther Dollinger
24
ta-C Deposition Range distributions of 13C, 22 eV - 692 eV in carbon
together with H. Hofsäß, C. Ronning et al, Uni Göttingen Probe Günther Dollinger
25
Range Profile 22 eV MD-Simulationen H.-U. Jäger, FZ Rossendorf
Trim.SP, W. Eckstein, IPP Garching Günther Dollinger
26
Range profiles Günther Dollinger
27
Momente der Reichweiteverteilungen
Günther Dollinger
28
Ultra Shallow contacts and Gate-Oxides
2012: 0.8 nm Günther Dollinger
29
Leichte Elemente in Al2O3/SiON/c-Si
ERD beste Tiefenauflösung Strahlenschädigung: 40 MeV Au optimal Günther Dollinger
30
ERD-Channeling 20*20*20 Einheitszellen Günther Dollinger
31
Channeling Günther Dollinger
32
Günther Dollinger
33
Günther Dollinger
34
Günther Dollinger
35
Energiespektrum bei planarem Channeling an (001)Si mit 100MeV 127I
Günther Dollinger
36
Wasserstoffnachweis Nuclear Reaction Analysis (NRA): 15N-Methode ERD
Proton-Proton Streuung Deuterium Nachweis z.B.: D(3He, p)4He z.B. 790 keV 3He , 800 mbarn, Q = 18,352 MeV Günther Dollinger
37
NRA Normalerweise: Nachweis der Gamma-Strahlung E = 4,43 MeV
z.B. 1H(15N,ag)12C Normalerweise: Nachweis der Gamma-Strahlung E = 4,43 MeV Energie des Strahls variieren => Wasserstoffprofil Resonanzbreite: 1,8 keV Entspricht ca. 5 nm Tiefenauflösung Nebenresonanz-Querschnitte um 5 Größenordnungen unterdrückt Günther Dollinger
38
Ein Beispiel Günther Dollinger
39
Wasserstoffnachweis mittels Proton-Proton-Streuung
pp-Streuung: hohe Untergrundunterdrückung durch Koinzidenzmessung s (elastisch) ~ 500 ·s45° (Rutherford) => kleinstes Schädigungspotential aller IBA-Methoden zur Wasserstoffanalytik! Ortsauflösung lateral: Mikrostrahl Tiefenauflösung: Energieverlust Günther Dollinger
40
Energie-Winkel-Spektrum
Günther Dollinger
41
Single-Spektrum Sektormultiplizität 1 Günther Dollinger
42
Koinzidenz verlangt Sektor Multiplizität 2 Gegenüberliegende Sekt.
Winkelsumme 90° => Sensitivität bis 1 ppm Günther Dollinger
43
Tiefen-Profile Tiefeninformation über Energieverlust Winkeländerung
kein geometrischer Effekt in 1. Ordnung ("Kinematischer Effekt") 2. Ordnung: "Weglängen- Effekt" Günther Dollinger
44
Tiefenauflösung Günther Dollinger
45
Mylar-Al-Mylar-Sandwich
Günther Dollinger
46
3D-Wasserstoffmikroskopie
E0 = 20 MeV Mott-Querschnitt gemessener Querschnitt großer Detektions- Querschnitt 10 Hz Koinzidenzrate Strahlstrom 100 pA 1016 at/cm2 hohe pp-Zählraten akzeptable Messzeit für Raster-Bild minimale Schädigung der Probe Günther Dollinger
47
Vergleich von Schädigungszahlen
pp-Streuung z.B. 20 MeV, DW = 1 sr D(disp.) » 103 NRA z.B. 1H(15N,ag)12C D(disp.) » (abhängig von verwendeter Resonanz und Schichtdicke) ERD z.B. DW = 5 msr D(disp.) » 109 E/A = 1 MeV Dionisation 3000 fach höher, die Wahrheit liegt dazwischen 1 µm³ enthält 1011 H-Atome (Kunststoffe) Günther Dollinger
48
Rasterionenmikroskop SNAKE G. Datzmann, G. Dollinger, A. Hauptner, G
Rasterionenmikroskop SNAKE G. Datzmann, G. Dollinger, A. Hauptner, G.Hinderer†, H.-J. Körner, P. Reichart, TUM Submikrometer Auflösung Protonen MeV, Schwerionen bis 200 MeV • q2 /A Günther Dollinger
49
Aufbau Neuentwicklungen: Mikroschlitze
Supraleitende Linse mit Korrektur sphärischer Aberr. Experimentierplatz Günther Dollinger
50
Wasserstoffmikroskopie
Der Flügel einer Eintagsfliege: Günther Dollinger
51
Zusammenfassung Ionenstrahlanalyse mit hochenergetischen Ionen:
Quantitativ Alle Elemente Tiefenauflösung bis atomar 3D-Techniken: Mikroskopie (Wasserstoff!!) Strahlenschädigung!! SIMS: Im allgemeinen: Empfindlich Gute Tiefenauflösung Probleme mit Quantifizierung Beschleunigermassenspektrometrie Günther Dollinger
Ähnliche Präsentationen
© 2024 SlidePlayer.org Inc.
All rights reserved.