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Kathode Steuerzylinder Anode Kondensor (-linse) XY-Ablenksystem Objektiv (-linse) Bildschirm Detektor Probentisch mit Probe
2
Kathode Anode Steuerzylinder
3
Bildschirm Vakuum
4
Probe Haarnadelkathode Wehnelt-Zylinder Anode Kondensorlinse Objektivlinse Objektivaperturblende Zwischenlinse Projektivlinse Leuchtschirm bzw. Photoplatte
5
Probe Elektronenstrahl unelastisch gestreute Elektronen
Objektivaperturblende Elektronenstrahl unelastisch gestreute Elektronen nicht gestreute gestreute Elektronen
6
Probentisch mit Probe Elektronenstrahl EDS-Detektor Röntgenstrahlung aus Probe
7
λ = h m ∙ v d = 0,61 ∙ n ∙ sin α λ = 0,61 ∙ NA
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