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Planung und Inbetriebnahme eines Ofens zum Ausheizen von Ultrahochvakuumbauteilen
Technische Hochschule Wildau Fachbereich Ingenieurwesen / Wirtschaftsingenieurwesen Studienrichtung Physikalische Technik Erarbeitet am DESY-Zeuthen Sebastian Philipp
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Gliederung Zielstellung und Anforderungen
Sebastian Philipp Gliederung Zielstellung und Anforderungen Vakuumphysikalische Betrachtungen Grundlegender Aufbau Thermische Isolation Temperaturverteilung Druckanalyse
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Zielstellung und Anforderungen
Sebastian Philipp Zielstellung und Anforderungen Verringerung der Ausgaszeiten von Vakuumbauteilen Gleichmäßige Temperaturverteilung im Bauteil Evakuierung des Bauteils während des Ausheizens Eignung für typische Bauteilgrößen Flexibler Standort
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Vakuumphysikalische Betrachtung
Sebastian Philipp Vakuumphysikalische Betrachtung desorbiertes Gasteilchen Vakuum adsorbiertes Gasteilchen Bauteilwand Wandteilchen absorbiertes Gasteilchen
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Grundlegender Aufbau Bauteil Ofen Vakuumpumpe Sebastian Philipp
Grundlegender Aufbau Bauteil Ofen Vakuumpumpe
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Thermische Isolation Senkung des Energieverbrauchs
Sebastian Philipp Thermische Isolation Senkung des Energieverbrauchs Gewährleistung eines homogene Temperaturfeldes Arbeitsschutz
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Thermische Isolation Arten des Wärmetransports
Sebastian Philipp Thermische Isolation Arten des Wärmetransports Wärmeleitung Konvektion Wärmestrahlung 𝑅 𝑡ℎ = 𝛿 𝜆 𝐴
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Thermische Isolation Aufbau des Ofens
Sebastian Philipp Thermische Isolation Aufbau des Ofens
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Thermische Isolation Aufbau des Ofens
Sebastian Philipp Thermische Isolation Aufbau des Ofens R1 Edelstahlblech (400°C) δ=1mm λ=21W/(m K) R5 R2 Aluminiumblech (100°C) δ=1mm λ=146W/(m K) Promalight 1000 (400°C) δ=30mm λ=0,026W/(m K) R3 Aluminiumblech (100°C) δ=1,5mm λ=146W/(m K) R4 Luft (100°C) δ=23,5mm λ=0,032W/(m K)
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Thermische Isolation Aufbau des Ofens
Sebastian Philipp Thermische Isolation Aufbau des Ofens R9 Strebe (200°C) A=125mm² δ=200mm λ=18W/(m K) R6 Abstandshülse (400°C) A=59,7mm² δ=33mm λ=21W/(m K) R7 Strebe (200°C) A=125mm² δ=142,5mm λ=18W/(m K) R10 R8 Abstandsstück (100°C) A=54,8mm² δ=18,5mm λ=16W/(m K) Anschlagstück (100°C) A=450mm² δ=27,5mm λ=119W/(m K)
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Thermische Isolation Aufbau des Ofens
Sebastian Philipp Thermische Isolation Aufbau des Ofens R11 R13 Edelstahlblech (400°C) A=0,84m² δ=1,5mm λ=21W/(m K) Abstandshülse (400°C) A=59,7mm² δ=30mm λ=21W/(m K) R12 R14 Promalight 1000 (400°C) A=0,84m² δ=30mm λ=0,026W/(m K) Grundplatte (100°C) A=0,84m² δ=20mm λ=146W/(m K)
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Thermische Isolation Testergebnisse
Sebastian Philipp Thermische Isolation Testergebnisse Position berechnet gemessen Seitenwand 50,5°C 61°C Oberseite 52°C 55,5°C Unterseite 81°C 80°C
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Temperaturverteilung Messergebnisse an einem Bauteil
Sebastian Philipp Temperaturverteilung Messergebnisse an einem Bauteil
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Sebastian Philipp Druckanalyse
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Sebastian Philipp Druckanalyse
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Sebastian Philipp
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Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit!
Sebastian Philipp
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Thermische Isolation Testergebnisse
Sebastian Philipp Thermische Isolation Testergebnisse Position berechnet gemessen Seitenwand 67,5°C 94,5°C Oberseite 70,5°C 72,5°C Unterseite 138°C ≈110°C
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Thermische Isolation Aufbau des Ofens
Sebastian Philipp Thermische Isolation Aufbau des Ofens Seitenwände Oberseite Unterseite
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Temperaturverteilung Regelungsbeschreibung
Sebastian Philipp Temperaturverteilung Regelungsbeschreibung w(t) – Führungsgröße e(t) – Regelabweichung y(t) – Stellgröße z(t) – Störgröße x(t) - Regelgröße
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Temperaturverteilung Messergebnisse an einem Bauteil
Sebastian Philipp Temperaturverteilung Messergebnisse an einem Bauteil
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