Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Anwendung von Miniaturgreifern in der Mikromontage Ing. S.

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1 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Anwendung von Miniaturgreifern in der Mikromontage Ing. S. Fabian piezosystem jena GmbH www.piezojena.com

2 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Faserschalter mit piezoelektrischen Biegewandlern Vorteile: geringe Umschaltzeiten (1-3ms) geringe Koppelverluste (0,7-2,5dB) geringe Rückreflektion (> 55dB) optische Meßsysteme Spektroskopie Lasertechnik Telekommunikation Einsatzgebiete:

3 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Montagewerkzeuge für halbautomatische Fertigung von Faserschaltern Ziel: optimale Positionierung und Orientierung von optischen Bauteilen Mikroprismen Mikrospiegel Mikrolinsen Glasnuten zur Faserpositionierung

4 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Grundprinzip Faserschalter 1 auf n (SM) Kollimations- optik aktives Prisma Ausgangs- faserarray Fokussieroptik Eingangsfaser Aktuator passives Prisma

5 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Prismenanordnung einer 4x4 Matrix (SM) Fokussierlinsen geschaltete Kanäle Fasern

6 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Justage der Mikroprismen Lagetoleranzen : Verkippung um x-Achse:  0,3° Verdrehung um z-Achse:  2,8° Versatz in x,y-Richtung:  150µm

7 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Keramikscheibe mit Aussparungen für Mikroprismen Keramikscheibe mit Bohrungen zur Ansaugung Aluminiumrahmen mit Deckel und Vakuumanschluss Schematischer Aufbau eines Sauggreifers für 1xn Schalter

8 Verbundprojekt Greiferbaukasten für die MikrosystemtechnikS. Fabian piezosystem jena 10/2001 Montage der Prismen mit Matrix-Sauggreifer Aussparung mit Ansaug- öffnung Mikro- prismen Nähnadel