Forum analytica München, Johannes Kaindl

Präsentation zum Thema: "Forum analytica München, Johannes Kaindl"—  Präsentation transkript:

1 Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse
Forum analytica München, Johannes Kaindl Sales Manager Materialmikroskopie

2 Agenda 1 Technischer Hintergrund 2 Umsetzung 3 4 5 6 7 8
Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

3 Agenda 1 Technischer Hintergrund 2 Umsetzung 3 4 5 6 7 8
Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

4 Korrelative Mikroskopie Hintergrund
Wunsch Stufenloses „Eintauchen“ Wirklichkeit Auflösungsgrenze in der Lichtmikroskopie Höhere Auflösung: Rasterelektronenmikroskope Andere Technologie, andere Gerätetechnik Folge Systemwechsel nötig  Orientierung auf der Probe geht verloren Zeitaufwändiges Suchen der interessierenden Bereiche µm nm Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

5 Korrelative Mikroskopie Hintergrund
Lichtmikroskop Helligkeitskontrast Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche bzw. Objekte nur über Helligkeit und Farbe Rasterelektronenmikroskop Materialkontrast „Chemie“ Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

6 Problem: Relokalisierung
LM EM (X,Y)1,2…n Schnelle Lokalisierung unter dem Lichtmikroskop Direkter Blick auf die Probe Livebild Schwierig: Wiederfinden einer Stelle im Rasterelektronenmikroskop Vergleichsweise langsamer Bildaufbau Höhere Auflösung Kein direkter Blick auf die Probe Unterschiedliche Darstellung (optischer versuch Materialkontrast) Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

7 Agenda 1 Technischer Hintergrund 2 Umsetzung 3 4 5 6 7 8
Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

8 Die Lösung: Shuttle & Find
Hardware Spezifischer Probenhalter Markierungen zur Kalibrierung des Koordinatensystems Adapter für Lichtmikroskop und REM Auch individuelle Adapter möglich Software Imaging-Software „AxioVision“ Modul „Shuttle & Find“ Speichern und wieder anfahren beliebig vieler Probenpositionen Gleiche Software für Lichtmikroskop und REM Überlagern der Einzelbilder zu einem Gesamtbild Überblendfunktion Probenhalter Adapter LiMi Adapter REM Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

9 Korrelative Mikroskopie Neue Einblicke
Lichtmikroskop Helligkeitskontrast Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche bzw. Objekte nur über Helligkeit und Farbe Rasterelektronenmikroskop Materialkontrast Unterscheidung durch Auswertung unterschiedlicher Signale bei „Beschuss“ mit Elektronenstrahl Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

10 Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD